亚洲日韩国产精品第一页一区_无码av免费精品一区二区三区_亚洲一本大道无码av天堂_免费观看日本污污ww网站_国产精品无码一二区免费

依據(jù)《重慶市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)辦法》以及《關(guān)于2024年度重慶市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)提名工作的通知》相關(guān)文件的要求，對2024年度重慶市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)申報(bào)項(xiàng)目進(jìn)行公示，公示時(shí)間2025年2月11日至2025年2月17日。

一、項(xiàng)目名稱

智能高速接近式光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化

二、主要完成人

傅艦艇、蔡林沁、羅飛、林世超、孫秀輝、陳建軍、文國昇、董國慶、宋延奎、鄧三鵬

三、主要完成單位及提名等級

1.中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

2.重慶郵電大學(xué)

3.重慶城市職業(yè)學(xué)院

4.蘇州中特微電子科技有限公司

5.江西兆馳半導(dǎo)體有限公司

6.天津博諾智創(chuàng)機(jī)器人技術(shù)有限公司

擬提名：重慶市科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)

提名單位：兩江新區(qū)科技創(chuàng)新局

四、項(xiàng)目簡介

我國是世界制造業(yè)大國，制造業(yè)是立國之本、強(qiáng)國之基。習(xí)近平總書記強(qiáng)調(diào)“關(guān)鍵核心技術(shù)是要不來、買不來、討不來的。只有把關(guān)鍵核心技術(shù)掌握在自己手中，才能從根本上保障國家經(jīng)濟(jì)安全、國防安全和其他安全。光刻機(jī)是半導(dǎo)體高端制造領(lǐng)域的核心設(shè)備。長期以來，光刻機(jī)技術(shù)一直受到國外壟斷，被稱為“卡脖子”技術(shù)痛點(diǎn)，使我國在芯片制造領(lǐng)域發(fā)展受到極大制約。在國家科技部、總裝備部、重慶市科委等部門資助下，中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院，責(zé)無旁貸凝聚了國內(nèi)優(yōu)勢高校、科研院所、科技企業(yè)、新型研發(fā)機(jī)構(gòu)等圍繞光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)崂怼翱ú弊印彪y題，凝練出接近式光刻機(jī)平行光光源、顯微控制、套刻精度等關(guān)鍵核心技術(shù)，突破了接近式光刻機(jī)技術(shù)壁壘，研制了智能高速接近式光刻機(jī)。該成果技術(shù)難度大，具有獨(dú)立自主知識產(chǎn)權(quán)，在近紫外接近式光刻機(jī)領(lǐng)域整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。已在三安光電、華燦光電、兆馳股份等上市公司產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)替代，取得了顯著成效，產(chǎn)生巨大經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)價(jià)值，推動(dòng)了我國光刻技術(shù)及其相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展，取得以下創(chuàng)新性成果：

1.針對接近式光刻機(jī)光源不均勻、曝光能量密度低、光源模型誤差累積，首創(chuàng)大角度光線偏折的多自由曲面聯(lián)合配光方法。研發(fā)高能量密度、高均勻性、高平行度的UVLED光源，能量密度比汞燈光源提升2倍以上，曝光時(shí)間減少50%以上，產(chǎn)品均勻性達(dá)98%，使用壽命是汞燈30倍。解決了UVLED光源的高能量密度、高均勻性、高平行度難題，減小了光源模型誤差積累。

2.針對現(xiàn)有對準(zhǔn)裝置物鏡調(diào)焦難，對準(zhǔn)效率低，發(fā)明了基于滾珠花鍵的旋轉(zhuǎn)升降對位裝置，研發(fā)了精密視覺伺服定位高性能多軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，分辨精度可達(dá)0.5μm，工件臺平面定位精度±150nm。實(shí)現(xiàn)了精密導(dǎo)向的高精度XYZ-C四維顯微運(yùn)動(dòng)控制和視覺伺服工件臺高精度定位。

3.針對晶圓在涂膠烘烤后對位標(biāo)記圖像對比度低、結(jié)構(gòu)模糊、非線性畸變等干擾導(dǎo)致定位精度低，提出了基于深度學(xué)習(xí)的對準(zhǔn)降噪與盲圖像高分辨率重建方法，構(gòu)建了雙視場閉環(huán)骨架匹配視覺對位算法模型，單片套刻對位時(shí)間小于2秒，套刻精度達(dá)到國際領(lǐng)先水平的±0.5μm，解決了多類型干擾引起的套刻對位精度低的難題。

成果主要在重慶研發(fā)和蘇州、南昌、天津等地應(yīng)用，獲授權(quán)專利85件，其中發(fā)明66件；牽頭制定標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)，其中國際標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)4項(xiàng)；入選省部級領(lǐng)軍人才主推技術(shù)30項(xiàng)次，其中蘇州市3項(xiàng)次；研制專用光刻機(jī)7種；出版著作5部、論文40余篇。同時(shí)支撐了山東大學(xué)、中國科學(xué)院等一流院校科研平臺建設(shè)，效果良好。

經(jīng)中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)（原機(jī)械工業(yè)部）組織的成果鑒定：該成果技術(shù)難度大，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，在近紫外接近式光刻機(jī)領(lǐng)域整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。

五、主要完成人情況表

第一完成人姓名:傅艦艇

技術(shù)職稱:高級工程師

工作單位:中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

完成單位:中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):精密運(yùn)動(dòng)控制

第二完成人姓名:蔡林沁

技術(shù)職稱:教授

工作單位:重慶郵電大學(xué)

完成單位:重慶郵電大學(xué)

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):圖像算法處理

第三完成人姓名:羅飛

技術(shù)職稱:副教授、高級工程師

工作單位:重慶城市職業(yè)學(xué)院

完成單位:重慶城市職業(yè)學(xué)院

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):機(jī)電控制

第四完成人姓名:林世超

技術(shù)職稱:高級工程師

工作單位:蘇州中特微電子科技有限公司

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):產(chǎn)業(yè)化推廣

第五完成人姓名:孫秀輝

技術(shù)職稱:副研究員

工作單位:中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

完成單位:中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):紫外光源設(shè)計(jì)

第六完成人姓名:陳建軍

技術(shù)職稱:工程師

工作單位:中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

完成單位:中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):光機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

第七完成人姓名:文國昇

技術(shù)職稱:高級工程師

工作單位:江西兆馳半導(dǎo)體有限公司

完成單位:江西兆馳半導(dǎo)體有限公司

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):負(fù)責(zé)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用整體方案與支撐技術(shù)研發(fā)

第八完成人姓名:董國慶

技術(shù)職稱:高級工程師

工作單位:江西兆馳半導(dǎo)體有限公司

完成單位:江西兆馳半導(dǎo)體有限公司

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):承擔(dān)智能高速近紫外光刻機(jī)的LED產(chǎn)線應(yīng)用與技術(shù)研發(fā)

第九完成人姓名:宋延奎

技術(shù)職稱:助理研究員

工作單位:中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

完成單位:中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):高精密運(yùn)動(dòng)平臺的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

第十完成人姓名:鄧三鵬

技術(shù)職稱:教授、歐洲自然科學(xué)院院士

工作單位:天津博諾智創(chuàng)機(jī)器人技術(shù)有限公司

完成單位:天津博諾智創(chuàng)機(jī)器人技術(shù)有限公司

對項(xiàng)目的貢獻(xiàn):在光刻機(jī)生產(chǎn)車間提出了基于物聯(lián)網(wǎng)的離散型車間數(shù)字溯源方法