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依據(jù)《重慶市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)辦法》以及《關(guān)于2024年度重慶市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)提名工作的通知》相關(guān)文件的要求，對(duì)2024年度重慶市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)申報(bào)項(xiàng)目進(jìn)行公示，公示時(shí)間2025年2月13日至2025年2月17日。

一、項(xiàng)目名稱

高精度智能壓力變送器及其核心敏感MEMS元件研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用

二、主要完成人

喻立川、田英明、張小平、向澤藍(lán)、王春喜、趙劍明、陸文強(qiáng)、艾軍、高曉紅、呂鵬勃、何志強(qiáng)、喻麗、王方

三、主要完成單位及提名等級(jí)

1.重慶川儀自動(dòng)股份有限公司

2.重慶四聯(lián)測(cè)控技術(shù)有限公司

3.重慶金芯麥斯傳感器技術(shù)有限公司

4.中國科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所

5.機(jī)械工業(yè)儀器儀表綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究所

6.中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院

擬提名重慶市科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)

提名專家：譚久彬（中國工程院院士、哈爾濱工業(yè)大學(xué)超精密光電儀器工程研究所教授、?精密儀器技術(shù)與工程專業(yè)）

四、項(xiàng)目簡(jiǎn)介

壓力傳感器應(yīng)用量大、面廣、價(jià)值量高，而我國核心敏感元件高端MEMS硅基壓力傳感器芯片完全依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約著我國高端智能裝備安全自主可控發(fā)展，亟待解決。為解決此嚴(yán)重“卡脖子”問題，本項(xiàng)目開展了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端MEMS敏感元件研制，依托此核心部件研發(fā)了高端智能壓力/差壓變送器產(chǎn)品，并建成了2個(gè)產(chǎn)業(yè)基地。

采用多物理場(chǎng)耦合有限元仿真分析方法，建立傳感器芯片多層復(fù)合薄膜應(yīng)力模型，圍繞硅基的MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、傳感器基座結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、硅基力敏電阻表面鈍化層的多種膜層材料設(shè)計(jì)與微納制備工藝、基于步進(jìn)式刻蝕提升各向異性腐蝕均勻性的背腔加工工藝、低孔隙率高強(qiáng)度硅-玻璃陽極鍵合工藝等方面進(jìn)行創(chuàng)新研發(fā)，成功研制出基于高穩(wěn)MEMS壓力敏感元件的壓力傳感器，填補(bǔ)國內(nèi)高精度傳感器空白。

依托自主MEMS敏感元件，突破傳壓元件彈性響應(yīng)、低功耗高精度信號(hào)調(diào)理、高溫環(huán)境壓力測(cè)量的傳壓結(jié)構(gòu)、導(dǎo)壓管堵塞檢測(cè)、多參數(shù)融合高精度補(bǔ)償校準(zhǔn)等設(shè)計(jì)技術(shù)，攻克超薄膜片精密成型及均熱焊接、傳壓介質(zhì)高真空微量充灌、低壓損壓力傳導(dǎo)等關(guān)鍵工藝及實(shí)現(xiàn)多批量、多品種、自適應(yīng)裝夾、參數(shù)自配置的智能制造技術(shù)，開發(fā)出進(jìn)入世界第一梯隊(duì)的高端智能壓力變送器產(chǎn)品，達(dá)到國際先進(jìn)水平，核心關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際領(lǐng)先水平。

本項(xiàng)目研發(fā)的高穩(wěn)MEMS敏感元件及高端智能壓力/差壓變送器，整體成果達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)的水平，打破了美國Emerson、日本Yokogawa等世界 500強(qiáng)公司對(duì)國內(nèi)高端智能壓力變送器產(chǎn)品的技術(shù)封鎖，在實(shí)現(xiàn)核電、石油、化工、電力、冶金、建材等典型行業(yè)形成示范應(yīng)用。項(xiàng)目共形成知識(shí)產(chǎn)權(quán)48項(xiàng)，其中授權(quán)發(fā)明專利14項(xiàng)。實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)MEMS敏感元件20萬件臺(tái)/年的產(chǎn)能，在流程工業(yè)壓力測(cè)量傳感芯片市場(chǎng)占有率超過40%。實(shí)現(xiàn)壓力變送器30萬臺(tái)/年的產(chǎn)能，近3年銷售收入達(dá)16.76億元，在中高端壓力變送器領(lǐng)域市場(chǎng)占有率達(dá)12.9%，國產(chǎn)品牌排名第一。

五、主要知識(shí)產(chǎn)權(quán)目錄

主要知識(shí)產(chǎn)權(quán)證明目錄（不超過10件）

本材料公示期內(nèi)（2025年2月13日至2025年2月17日），任何單位或個(gè)人對(duì)公示項(xiàng)目的創(chuàng)造性、先進(jìn)性、適用性及推薦材料的真實(shí)性和項(xiàng)目主要完成單位持有異議的，可以書面形式向科技處提出，并提供必要的證明材料。為便于核實(shí)查證，確保實(shí)事求是、客觀公正地處理異議，提出異議的單位或者個(gè)人應(yīng)當(dāng)表明真實(shí)身份，并提供聯(lián)系方式。凡匿名異議和超出期限的異議，不予受理。

特此公示。

聯(lián)系單位：中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院科技處

通訊地址：重慶市北碚區(qū)方正大道266號(hào)

聯(lián)系電話：023-65935678

聯(lián) 系 人：孫萌

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???????????????????????????????????????????????????????????????2025年2月13日